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G10.5 Array Repair

G10.5 Array Repair

設備技術核心


-  高精度激光控制技術

-  自動維修技術

-  FSM技術

-  CVD Alloy合金技術 （科韻專利）

-  Ag/PR INK技術

-  低成本1μm Cut技術


設備應用場景

- 顯示面板行業陣列制程金屬線路斷路維修

- 顯示面板行業陣列制程金屬線路殘留維修

- 顯示面板行業陣列制程光刻殘膠殘留維修

- 應用于G10.5代線  玻璃基板尺寸3370×2940mm


產品G10.5 Array Repair
Array:2Cycle：AG Line Inkjet Process  =>2Cycle +線寬（7um）+膜厚（＞1500A）
Inline Ink 140s
Final Ink200s
Array CUT1點 42s
Array CVD：

Line CVD Processing=>2cycel+線寬（5um）+厚度（＞2000A）120s 126s


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